循環(huán) 通過循環(huán)使用，節(jié)約水的消耗，從而實現(xiàn)節(jié)能減排。
1）水量平衡診斷
2）加熱分解
3）CMP清洗／漿料回収
4）BG、切割液、廃水回収
5）廃薬品再利用
6）廃活性炭再利用
7）冷卻水高濃縮運転
8）冷卻水回收
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