單晶硅、多晶硅、太陽能電池用水設(shè)備
硅是地球上儲藏最豐富的材料之一，單晶硅也稱硅單晶，是電子信息材料中最基礎(chǔ)性材料，屬半導(dǎo)體材
料類。單晶硅主要用于半導(dǎo)體集成電路、二極管、外延片襯底、太陽能電池。利用單晶硅的性質(zhì)制造生產(chǎn)工藝用超純水設(shè)備。
工藝流程
預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)
水質(zhì)標準
國家電子級純水標準
● 預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-粗混床-精混床-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對象(≥18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
● 預(yù)處理-反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對象(≥18MΩ.CM)(新工藝)
● 預(yù)處理-一級反滲透-二級反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象(≥15MΩ.CM) (新工藝)
● 預(yù)處理-反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象(≥5MΩ.CM)(新工藝)
● 預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-粗混合床-精混合床-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象 (≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
● 預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-粗混合床-精密過濾器-用水對象 (≥5MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
國家電子級純水標準
為達到符合標準的水質(zhì)，盡可能地減少各級的污染，延長設(shè)備的使用壽命、降低操作人員的維護工作量。在工藝設(shè)計上，取達到國家自來水標準的水為源水，再設(shè)有介質(zhì)過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床系統(tǒng)(EDI電除鹽系統(tǒng))等。 系統(tǒng)中水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，具有更高的性價比和設(shè)備可靠性。
①混床離子交換純化柱
②EDI裝置
③除熱原超濾膜
④紫外線殺菌燈與TOC紫外消解器
⑤終端過濾器
